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        快速退火爐系列

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        RTP-1200快速退火爐
        韓國Ecopia公司生產,最大樣品尺寸:15mm X 20mm。RTP-1200特點:使用單相電,普通照明電即可使用;風冷設計、無須采購冷水機;真空退火,可以使用氫氮混合氣(<10%比例氫氣)。
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        RTP-100快速退火爐
        德國優尼坦公司生產,最大樣品尺寸:4英寸晶圓或者100mm x 100mm尺寸樣品,RTP-100支持惰性氣體保護、低真空或高真空快速熱處理。
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        RTP-150快速退火爐
        德國優尼坦公司生產,最大樣品尺寸:6英寸晶圓或者156mm x 156mm尺寸樣品,RTP-150可以支持惰性氣體保護、低真空或高真空快速熱處理。
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        VPO-300快速退火爐
        德國優尼坦公司生產,最大樣品尺寸:12英寸晶圓或300mm x 300mm尺寸樣品,VPO-300支持惰性氣體保護、低真空、或高真空快速熱處理。
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